マイクロセンサを用いた適応制御

 超精密切削加工を自動化するためには,加工中に状態を認識しながら,常に適切な加工状態になるように制御する必要があります.この研究では,MEMS技術を応用して製作したマイクロ温度センサを用いて計測した温度情報を基に加工点の温度が一定になるように加工機の動作(切削速度)を制御することで,加工中の温度をほぼ一定に保つ温度条件拘束型適応制御を実現しました.
 従来,熱的挙動の情報は感度が低く,伝達にも時間がかかると思われていました.しかし,超精密切削加工ではセンサをダイヤモンド工具上の刃先に極めて近い位置に配置できるため,制御系の構築にも応用できるだけの感度と応答性を持つ情報を得られることを確認しました.

References

M. Hayashi, H. Yoshioka, H. Shinno, “An Adaptive Control of Ultraprecision Machining with as In-Process Micro-Sensor”, Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing, Vol.2, No.3, (2008), pp.322-331.