平面ナノ位置決めテーブルシステム

 ナノメートルオーダの位置決め精度を多自由度運動で同時に実現するためには,徹底的にシステム内の誤差要因を排除した,従来のテーブル構造とは異なる新たな構造概念の位置決めテーブルシステムが必要となります.
 本研究では,理想的な平面運動が可能なXYテーブルシステムの実現を目的として,完全非接触構造を採用した平面運動テーブルの開発およびその位置決め特性評価を行なっています.さらに開発したテーブルシステムを用いて微細切削加工を行い,加工中のテーブル運動特性や加工面の評価などを併せて行っています

References

  • H. Shinno, H. Yoshioka, and K. Taniguchi, “A Newly Developed Linear Motor-Driven Aerostatic X-Y Planar Motion Table System for Nano-Machining”, Annals of the CIRP, Vol.56, No.1, (2007), pp.369-372.
  • H. Shinno, H. Hashizume, H. Yoshioka, K. Komatsu, T. Shinshi and K. Sato, “X-Y-q Nano-Positioning Table System for a Mother Machine”, Annals of the CIRP, Vol.53, No.1, (2004), pp.337-340.