長ストローク高速サブナノメートル位置決めテーブルシステム

超精密加工や半導体技術の進歩に伴い,広い運動範囲においてサブナノメートルの位置決め精度を持つ超精密高速位置決めシステムの実現が望まれています.本研究では,
(1)空気軸受,リニアモータ駆動による完全非接触構造
(2)光路および信号処理の工夫によりおよそ0.01ナノメートルの計測分解能を達成したレーザー干渉計による変位計測
(3)重心駆動
(4)アッベの原理を満たす変位計測
などの特徴を持つ,新たな高速超精密位置決めテーブルシステムの開発を進めています.
 これらの可能な限りの誤差発生要因の排除により,開発したシステムは150mmの広い運動範囲にわたって0.3ナノメートルの高い位置決め分解能を実現可能としています.

Fig.1

Fig.2

References

  • H. Shinno, H. Yoshioka, H. Sawano, “A Newly Developed Long Range Positioning Table System with a Sub-Nanometer Resolution”, CIRP Annals – Manufacturing Technology, Vol.60, No.1, (2011), pp.403-406.
  • H. Yoshioka, S. Kuroyama, H. Sawano, H. Shinno, “Structural Design of Long Range Sub-Nanometer Positioning System”, Proceedings of the euspen International Conference, Vol.1, (2011), pp.367-370.
  • H. Yoshioka, S. Kuroyama, H. Sawano, H. Shinno, “Sub-Nanometer Positioning with a High Resolution Laser Interferometer”, Proceedings of the euspen International Conference, Vol.1, (2010), pp.404-407.