広域ナノパターンジェネレータ

 近年,超精密加工機に対してさらなる高精度化および加工領域の拡大が要求されており,ナノメートルオーダの加工精度の実現が望まれています.
 本研究では,100mmオーダの加工空間でナノメートルオーダの加工精度を有する機械加工を実現するために,新たな構造概念に基づくマザーマシンの開発を進めています.
(1)空気軸受,リニアモータ駆動などによる完全非接触構造
(2)主要構造へのセラミックス材料の適用
(3)アクティブ制振システムによる構造体の支持
など,可能な限りの熱的,力学的誤差発生要因の排除により,広い運動範囲にわたって1ナノメートルの分解能による加工を実現可能としています.開発したシステムを用いた加工実験において,超精密切削加工によりナノメートルスケールの微細パターンの創成を実現しています.

References

  • H. Yoshioka, H. Shinno, “Design Concept and Structural Configuration of Advanced Nano-Pattern Generator with Large Work Area”ANGEL””, International Journal of Automation Technology, Vol.5, No.1, (2011), pp.38-44.
  • H. Yoshioka, H. Shinno, “Structural Design of a Newly Developed Ultraprecision Machine Tool “ANGEL””, International Symposium on Ultraprecision Engineering and Nanotechnology Symposium Proceedings of ISUPEN 2011, (2011), pp.48-51.
  • Y. Kurisaki, H. Sawano, H. Yoshioka, H. Shinno, “A Newly Developed X-Y Planar Nano-Motion Table System with Large Travel Ranges”, Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing, Vol.4, No.5, (2010), pp.976-984.
  • H. Sawano, Y. Kurisaki, H. Yoshioka, H. Shinno, “A Newly Developed Advanced Nano-Pattern Generator with Large Work Area”, Proceedings of the 14th International Machine Tool Engineers’ Conference, (2010), pp.70-71.
  • H. Yoshioka, H. Sawano, H. Shinno, “A Newly Developed Ultraprecision Machining Tool “ANGEL””, Proceedings of the euspen International Conference, Vol.2, (2010), pp.239-242.
  • M. Takahashi, H. Yoshioka, H. Shinno, “A Newly Developed Long-Stroke Vertical Nano-Motion Platform with Gravity Compensator”, Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing, Vol.2, No.3, (2008), pp.356-365.