高トルク・高精度揺動回転 アクチュエータ

 複雑3次元形状を有する部品の超精密加工に対応するためには,工作物または工具を鉛直面内で高精度に傾斜運動させるステージが必要になります.
 このようなステージの駆動要素には,偏心した負荷を安定して高精度に駆動するために高いトルクと高い精度が同時に要求されます.この研究では,空気圧アクチュエータと電磁アクチュエータを組み合わせた新たなコンセプトに基づく駆動要素を新たに提案し,さらなる高精度駆動に関する検討を行っています.

References

  • H. Shinno, H. Yoshioka, M. Hayashi, “A High Performance Tilting Platform Driven by Hybrid Actuator”, CIRP Annals – Manufacturing Technology, Vol.58, No.1, (2009), pp.363-366.
  • M. Hayashi, H. Sawano, H. Yoshioka, H. Shinno, “Torque Error Compensation in Pneumatic Rotary Actuator System Using an Electromagnetic Force”, Proceedings of the 5th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, (2009), pp.183-186.
  • M. Hayashi, H. Yoshioka, H. Sawano, H. Shinno, “High Torque and High Precision Rotary Table System Driven by Hybrid Actuator”, Proceedings of the euspen International Conference, Vol.1, (2009), pp.402-405.